アヒコファインテック株式会社
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製造プロセス

1) ワイヤーソー

  • 光学ガラス、石英、水晶等材料を精密ワイヤーでロスを少なく高精度に切断します。

2) 芯取機

  • 加工物の外周を研削加工する工程で 端面部の形状と粗さ、外形寸法を決める作業です。

3) 両面研磨機(LAP工程)

  • 粗い研磨砥粒を用いて、加工物の平面形状(平面度、平行度)を決める工程で両面研磨機でバッチ(数枚から数十枚)加工します。

4) 監視

  • 目視にてLAP工程の品質を確認します。

5) 両面研磨機(研磨工程)

  • 微細な研磨砥粒を用いて、加工物の表面粗さを決定します
  • ナノメートル単位の表面粗さを達成します
  • 加工工程管理により、表面欠陥を無くします

6) 自動精密洗浄機

  • 研磨されたガラスの汚れ、塵などの不純物を取り除き乾燥させる装置です。

7)-1 真空蒸着装置

  • 反射防止、赤外線カット、紫外線カットに代表される光学特性を有する多層膜を鏡面加工された光学ガラスへ堆積することが可能です。
  • 多層膜の形成には種々の屈折率を有する膜の選択が可能であることから、様々な光学特性のバリエーションを得ることが可能です。
  • 経時変化のない光学特性を有する多層膜を得るためにイオンアシスト蒸着方法の選択も可能です。

参考) 主な成膜

1)AR成膜(可視領域反射防止)

可視領域の波長(380nm〜780nm)

2)IR-CUT用成膜(赤外領域透過防止)

赤外領域の波長(780nm〜

3)UV-OUT用成膜(紫外領域透過防止)

紫外領域の波長(190nm〜380nm)

7)-2 スパッタ装置

  • 反射防止、赤外線カット、紫外線カットに代表される経時変化のない光学特性を有する多層膜を鏡面加工された光学ガラスへ堆積することが可能です。
  • 多層膜の形成には主として高屈折率を有するニオブ酸化物膜と低屈折率を有する珪素酸化物膜を用います。
  • 真空蒸着装置と比較して低温で多層膜を形成することが可能です。

8) 最終検査

  • 暗室のクリーンルーム(クラス1000以下)で目視にて5μm以下まで検査を行います。