設備一覧
〈生産設備〉
| 両面研磨機（小型） | 14台 |
|---|---|
| 両面研磨機（大型） | 59台 |
| 片面研磨機 | 5台 |
| オートローダー付き芯取機 | 23台 |
| 平面ゼネレーター | 3台 |
| スライサー | 11台 |
| 真空蒸着機（Φ620,Φ1100,Φ1300） | 6台 |
| スパッタマシーン | 1台 |
| クリーンルーム | 3棟 |
| 自動精密洗浄機 | 4台 |
| スクラブ洗浄機 | 1台 |
| 丸目機 | 1台 |
| ワイヤーソー（大型） | 3台 |
| ワイヤーソー（小型） | 8台 |
〈解析・検査設備〉
| 平面度測定器(CORNING TROPEL) | 1台 |
|---|---|
| レーザー干渉計[F601（平面）] | 3台 |
| レーザー干渉計（Zygo Verifire） | 1台 |
| 低温恒温恒湿環境試験機 | 1台 |
| 恒温恒湿環境試験機 | 1台 |
| 表面粗さ測定器 NewView7300 | 1台 |
| 分光光度計U4100/U4150 | 各1台 |