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洗浄は部品や製品、半導体などの表面の目には見えない汚れや残留物等の付着物を取り除き、超純水及び超音波などで仕上げ洗浄を行う工程です。
研磨されたガラスの汚れ、塵などの不純物を取り除き乾燥させます。